洗浄装置

液晶及び半導体関連の洗浄装置の製作。その他薬品等を使用される、 ウェット装置（洗浄装置、現像装置、エッチング装置、剥離装置）の設計から製作、組立、配管、計装まで対応しています。

■ウェハー洗浄装置

シリコンウェハーの研磨直後の洗浄を行う装置です。装置内に搬送ロボットを搭載し、 省スペースでかつスピーディーに、洗浄後のウェハーをキャリアに自動収納します。

■HFウェハー洗浄装置

テフロンキャリアーに収納されたシリコンウェハーをフッ酸、純水にて洗浄するドラフト装置です。 当社の得意とする樹脂加工、溶接技術により薬液に強い装置作りを行っています。

■ガラス基板洗浄装置

携帯電話や太陽電池に使用されるガラス基板を洗浄する装置です。

■縦型洗浄装置

製品を縦置きに搬送し、洗浄を行う装置です。搬送装置を縦型にすることで、省スペースにて搬送が可能です。

■エッチング関係装置

シリコンウェハーを薬品でエッチングする装置です。

■その他の洗浄装置

その他半導体関連の洗浄装置の製作実績を有します。オーダーメイドによる洗浄装置の設計製作も可能です。

生産ライン

生産ラインの自動化に伴うオーダーメイド装置の設計製作、組立を行っています。

工業用樹脂製品

工業用樹脂ＰＶＣ，ＰＰ等のタンク等、単品製作及び塩ビダクトの製作、工事等も行っています。

クリーンルーム

半導体、医療機器、食品等の生産工場向けクリーンルームの設計、 施工、及びクリーンルーム用周辺機器類（エアーシャワー、 ドラフトチャンバー、クリーンベンチ等）も製作いたします。 また、ご要望に応じたオーダーメイドのクリーンブースの製作も行っています。