導入実績

納入物件リスト

納 入 時 期 納 入 装 置
平成 2年 7月 洗浄装置
平成 2年 8月 Crエッチング装置
平成 2年 9月 洗浄装置 現像装置
平成 2年 12月 現像装置 ・ Alエッチング装置 ・ 剥離装置
平成 3年 3月 受入洗浄装置
平成 3年 5月 ドラフトエッチング装置
平成 3年 12月 現像装置
平成 4年 1月 メッキ自動ライン
平成 4年 3月 受入洗浄装置
平成 4年 4月 最終洗浄装置
平成 4年 5月 ブラシ洗浄装置
平成 4年 6月 ドラフトエッチング装置
平成 5年 1月 受入洗浄装置
平成 5年 1月 PI前洗浄装置 2台
平成 5年 1月 ラビング後洗浄装置 2台
平成 5年 7月 洗浄装置
平成 5年 8月 クリーンルーム設備 (80坪 : class100)
平成 5年 9月 現像装置
平成 5年 11月 メタルエッチング装置
平成 6年 1月 フラックス洗浄装置
平成 6年 3月 クリーンルーム設備 (180坪 : class100)
平成 6年 3月 洗浄装置 5式
平成 6年 3月 スピン現像装置 5式
平成 6年 10月 現像装置
平成 6年 11月 スピン現像装置
平成 7年 1月 洗浄装置
平成 7年 1月 現像装置
平成 7年 2月 スピン現像装置
平成 7年 4月 前洗浄装置 ・スピン現像装置 ・O/C洗浄装置
平成 7年 5月 現像装置 ・ エッチング装置 (ITOライン)
平成 7年 9月 CF現像装置
平成 7年 10月 自動電解装置
平成 7年 12月 クリーンルーム設備 (80坪 : class100)
平成 8年 3月 超音波酸洗浄装置
平成 8年 4月 クリーンルーム設備
平成 8年 4月 自動供給ロボツト (ソレノイドボディ供給)
平成 8年 6月 クリーンルーム設備
平成 8年 8月 ドラフトチャンバー (6基)
平成 8年 9月 ドラフト酸洗浄装置
平成 8年 9月 液晶基板洗浄実験機
平成 8年 10月 自動供給ロボツト (ソレノイドボディ供給)
平成 8年 10月 自動回収ロボツト (ソレノイドボディ回収)
平成 8年 11月 サーマルヘッド基板受入洗浄装置
平成 8年 11月 サーマルヘッド基板現像装置
平成 8年 12月 薬液供給装置 (H2O2,NH4OH)
平成 8年 12月 拡散前処理装置自動化改造
平成 9年 1月 基板洗浄装置
平成 9年 2月 ガラス移載機
平成 9年 2月 超純水製造装置
平成 9年 3月 HF廃水処理設備
平成 9年 3月 HF処理装置自動化改造
平成 9年 5月 拡散炉改造
平成 9年 5月 ラップ洗浄装置
平成 9年 6月 自動電解装置 (2号機)
平成 9年 6月 シェーキング装置
平成 9年 9月 切断後洗浄装置
平成 9年 9月 クロメート乾燥機
平成 9年 10月 純水装置
平成 9年 10月 セラミック恒湿パスボックス
平成 9年 11月 支柱移載機 1号機
平成 9年 12月 枚葉式洗浄実験機
平成 9年 12月 支柱移載機 2,3,4号機 (3台)
平成10年 1月 熱処理備品洗浄装置 (石英管洗浄装置)
平成10年 2月 支柱移載機 5、6、7、8号機 (4台)
平成10年 3月 薬液ドラフト&シェーキング装置
平成10年 3月 自動電解1号機 改造
平成10年 3月 パスボックス (2台)
平成10年 6月 スピンエッチャー装置
平成10年 10月 支柱移載機9号機及び整列機 1号機
平成11年 1月 支柱移載機10号機及び整列機 2号機
平成11年 1月 処理実験槽
平成11年 3月 ドラフトチャンバー
平成11年 3月 純水設備工事
平成11年 4月 液切り改造 Ⅰ、Ⅱ
平成11年 4月 エイジング装置改造
平成11年 4月 N2保管庫 2式
平成11年 9月 洗浄実験機
平成11年 9月 洗浄液廃液回収装置
平成11年 10月 液切り改造 Ⅲ
平成11年 10月 液晶基板洗浄試験機
平成11年 12月 アンローダー改造 (延長)
平成12年 2月 検査用自動洗浄機 (チューブ洗浄)
平成12年 3月 洗浄機改造 (マスク)
平成12年 3月 枚葉式洗浄機改造
平成12年 4月 洗浄実験槽
平成12年 4月 チューブ洗浄機改造
平成12年 4月 移載機改造 (整列機) 2SET
平成12年 5月 移載機改造 3台
平成12年 6月 面取り洗浄機 (UL/D付)
平成12年 7月 HF供給ドラフト
平成12年 8月 WF洗浄装置
平成12年 9月 ケミカルウェハー処理槽改造
平成12年 10月 受入洗浄装置
平成12年 11月 クリーンブース 2台
平成13年 1月 フォトライン川幅改造
平成13年 1月 ETリンスドラフト
平成13年 1月 クリーンブース
平成13年 2月 受入洗浄装置
平成13年 3月 基板洗浄装置
平成13年 3月 シェーキング装置
平成13年 3月 循環ユニット  7台
平成13年 4月 スピンエッチャー改造
平成13年 4月 オープンキャリアー洗浄装置
平成13年 4月 ウェットボックス手動洗浄装置
平成13年 5月 SWUS洗浄装置
平成13年 5月 簡易プロセッサー
平成13年 5月 パック洗浄機改造
平成13年 8月 ポリシングマシン用温調機
平成13年 8月 自動パック洗浄機
平成13年 9月 純水製造装置
平成13年 11月 ポリシングマシン用温調機 2号機
平成13年 12月 石英部品乾燥機
平成14年 2月 UFユニット製作
平成14年 5月 LP直後洗浄装置
平成14年 5月 簡易プロセッサー用リフター
平成14年 5月 N2保管庫
平成14年 6月 SUS缶移送機(エアーホイスト)
平成14年 7月 N2循環庫
平成14年 9月 梱包前除塵機
平成14年 9月 搬送機(キャニスターライン)
平成15年 1月 チューブ洗浄機
平成15年 1月 パッキンプレス機
平成15年 1月 クリーンブース 3台
平成15年 1月 オゾン分解装置
平成15年 2月 パネル洗浄機
平成15年 2月 OPT洗浄機
平成15年 3月 ポリシングマシン用温調機 3号機
平成15年 3月 エツジエッチャー
平成15年 4月 LP直後洗浄装置 2号機
平成15年 4月 ペリクルフレーム剥離装置
平成15年 5月 パネル洗浄機 2号機
平成15年 6月 スパッタ前洗浄機
平成15年 6月 オゾン分解装置 2号機
平成15年 6月 プラスチックPKG洗浄機#1
平成15年 6月 縦型自動プロセッサー
平成15年 8月 手動酸洗浄機改造
平成15年 8月 ポリシングマシン用温調機 4号機
平成16年 1月 移載機(8インチ用)
平成16年 1月 手動洗浄機
平成16年 3月 ブラシ治具洗浄装置
平成16年 4月 プラスチックPKG洗浄機#2
平成16年 5月 ♯3エッチング装置
平成16年 5月 ポリシングマシン用温調機 5号機
平成16年 6月 №9洗浄機改造
平成16年 6月 LP直後洗浄装置 3号機
平成16年 8月 パネル洗浄機
平成16年 8月 石英管洗浄機改造 (L3)
平成16年 8月 ドラフトチャンバー
平成16年 8月 プレポリ用温調機
平成16年 8月 ポリシングマシン用温調機 6号機
平成16年 10月 OC洗浄装置
平成16年 10月 ディップリンスドラフト
平成16年 10月 大型マスク搬送台車
平成16年 10月 ポリシングマシン用温調機 7号機
平成16年 10月 N2循環庫グレードアップ
平成16年 11月 大サイズ対応縦プロ改造
平成16年 11月 石英管洗浄機改造 (L5)
平成16年 11月 LP直後洗浄装置 4号機
平成17年 2月 洗浄装置 (3台)
平成17年 3月 Y-4エッチング装置
平成17年 3月 LP直後洗浄装置 5号機
平成17年 3月 Niメッキ装置
平成17年 3月 投入機、受取機
平成17年 4月 キャニスター薬供装置
平成17年 5月 薬液希釈供給装置
平成17年 6月 酸洗浄ドラフト
平成17年 6月 アルカリ洗浄ドラフト
平成17年 6月 №3洗オゾンリンス追加改造
平成17年 6月 手動酸洗浄機改造
平成17年 7月 マスク洗浄ドラフト
平成17年 8月 パネル洗浄機改造
平成17年 9月 検査治具 5タイプ
平成17年 10月 リサイクルライン
平成17年 11月 ワックスドラフト
平成17年 11月 自動ラップ梱包機
平成17年 12月 クロージャープレス機
平成17年 12月 大型マスク用搬送台車
平成18年 1月 ポリシングマシン用温調機 8号機
平成18年 1月 プレポリ用温調機 2号機
平成18年 2月 Fプロセッサー
平成18年 3月 300㎜ウエハー用HF洗浄機
平成18年 3月 LP直後洗浄装置 6号機
平成18年 5月 EMP-300温調機 5号機
平成18年 5月 EMP-300温調機 6号機
平成18年 5月 LP直後洗浄装置 7号機
平成18年 5月 LP直後洗浄装置 8号機
平成18年 6月 250Lリアレジスタ検査機
平成18年 7月 HF洗浄機(フォトフロー)
平成18年 7月 配管洗浄機
平成18年 8月 LP直後洗浄装置 10号機
平成18年 8月 Tプロエッチング装置
平成18年 9月 EMP-300温調機 7号機
平成18年 12月 プラスチックPKG洗浄機3号機
平成18年 12月 ラップ梱包機
平成19年 1月 LP直後洗浄装置 11号機
平成19年 1月 オゾン処理機
平成19年 1月 EMP-300温調機 8号機
平成19年 1月 温水処理槽
平成19年 1月 エッチング装置
平成19年 2月 プレポリ用温調機 3号機
平成19年 2月 LP直後洗浄装置 12号機
平成19年 2月 チューブ洗浄ドラフト
平成19年 2月 自動ケース洗浄機
平成19年 3月 EMP-300温調機 9号機
平成19年 3月 LP直後洗浄装置 13号機
平成19年 3月 LP直後洗浄装置 14号機
平成19年 4月 EMP-300温調機 10号機
平成19年 4月 犬リハビリ用水中歩行装置
平成19年 4月 プロセッサー用薬液供給装置
平成19年 4月 パネルASSY検査機
平成19年 5月 コンソールパネル検査機
平成19年 5月 HF自動供給装置
平成19年 5月 LP直後洗浄装置 15号機
平成19年 5月 HF洗浄機
平成19年 6月 LP直後洗浄装置 16号機
平成19年 6月 LP直後洗浄装置 17号機
平成19年 6月 HF洗浄機 (EP)
平成19年 7月 サイドD/P用検査冶具
平成19年 7月 センターレジスター検査機
平成19年 7月 EMP-300温調機 11号機
平成19年 7月 縦型プロセッサー改造
平成19年 7月 LP直後洗浄装置 18号機
平成19年 7月 LP直後洗浄装置 ♯5-1
平成19年 7月 SUS冶具洗浄機
平成19年 7月 メタノール供給装置
平成19年 8月 EMP-300温調機 12号機
平成19年 8月 Z-6EGライン洗浄ライン
平成19年 8月 LP直後洗浄装置 ♯5-2
平成19年 8月 LP直後洗浄装置 ♯5-3
平成19年 9月 LP直後洗浄装置 ♯5-4
平成19年 10月 短尺Niメッキ装置
平成19年 10月 SC-1洗浄装置
平成19年 10月 セコET洗浄装置
平成19年 10月 ボート冶具洗浄装置
平成19年 12月 DSOD酸ドラフト
平成19年 12月 DSOD有機ドラフト (2台)
平成19年 11月 400Lパネル検査機 (2台)
平成19年 12月 LP直後洗浄装置 ♯5-5
平成20年 2月 LP直後洗浄装置 ♯5-6
平成20年  2月 LP直後洗浄装置 ♯5-7
平成20年  4月 メタノール供給装置
平成20年  4月 LP直後洗浄装置 ♯5-8
平成20年 5月 ワックスドラフト 2
平成20年 6月 640L組立検査冶具
平成20年 6月 642L組立検査冶具
平成20年 6月 ナウパック200L充填機
平成20年 6月 ナウパックライナー抜き機
平成20年 6月 HMDS搬送車
平成20年 8月 VUV装置
平成20年 7月 743L組立冶具
平成20年 7月 LP直後洗浄装置 ♯5-9
平成20年 8月 FFUマスク搬送車
平成20年 8月 LP直後洗浄装置 ♯5-10
平成20年 9月 400Lゲートカッター
平成20年 9月 640Lネジ締め冶具
平成20年 10月 WAX剥離洗浄機
平成20年 10月 ヒュージングレジスタ洗浄機
平成20年 11月 LP直後洗浄装置 ♯5-11
平成20年 11月 フープ梱包用移載機
平成20年 12月 640Lゲートカッター
平成21年 1月 小型UV装置
平成21年 1月 NaOH回収装置
平成21年 1月 642L組立冶具Ⅱ
平成21年 1月 640L溶着検査冶具
平成21年 2月 ヘッド単体洗浄機
平成21年 3月 洗米搬送設備
平成21年 4月 200mm自動ノジュール処理装置
平成21年 7月 装置内ターンテーブル
平成21年 9月 めっき装置用乾燥機
平成21年 10月 充填機設備・既設改造及びコンベア
平成21年 12月 小型缶外洗機
平成22年 3月 小型缶内洗機
平成22年 6月 電着レジストライン改造
平成22年 7月 トレイ洗浄機
平成22年 7月 シートめっきライン
平成22年 7月 NaOH希釈装置
平成22年 7月 露光機改造
平成22年 10月 HMDS装置
平成22年 10月 自動膜厚測定装置
平成22年 12月 パネル洗浄機♯3
平成22年 12月 配向膜剥離装置♯2改造
平成23年 3月 G7.5/8.5オーブン設計
平成23年 4月 200mm自動ノジュール処理装置♯2
平成23年 4月 薬液供給ユニット
平成23年 4月 薬液供給装置 7台
平成23年 5月 クリーンドラフト(水中パーティクル測定用)
平成23年 6月 643A組立冶具
平成23年 6月 HF洗浄ドラフト 3台
平成23年 7月 洗浄ドラフト装置
平成23年 7月 KPL-2 Niめっき改造
平成23年 7月 キャニスター缶内洗機
平成23年 7月 5槽式洗浄機
平成23年 9月 ITO剥離装置改造
平成23年 9月 マガジン洗浄機
平成23年 10月 SUS枠洗浄機
平成23年 10月 クローム剥離装置♯2
平成23年 10月 フレーム洗浄機
平成23年 10月 廃水タンクユニット
平成23年 11月 SUS枠洗浄機♯2
平成23年 11月 LP直後洗浄機自動化改造
平成23年 11月 マスク搬送台車4台
平成23年 12月 5L製品自動充填機
平成23年 12月 4槽式自動洗浄機
平成24年 1月 スプリング検査機
平成24年 2月 アルミ枠洗浄テスト機
平成24年 2月 半導体基盤用圧着機
平成24年 5月 工場シャッター用自動ドア
平成24年 6月 ライナー洗浄装置
平成24年 7月 SUS枠洗浄機♯3
平成24年 7月 ステンレスタンク高圧洗浄機
平成24年 9月 4槽式洗浄機
平成24年 9月 マガジン洗浄機♯2
平成24年 9月 自動ドア♯2
平成25年 1月 洗浄ブース(ドラフト)
平成25年 3月 アルミ枠物理洗浄機
平成25年 3月 アルミ枠内洗機
平成25年 9月 スラリー希釈供給装置
平成25年 9月 超音波洗浄ユニット
平成25年 10月 アルミ枠超音波洗浄槽
平成25年 11月 無電解Niメッキ装置
平成25年 12月 ロボット移載システム
平成25年 12月 冶具洗浄機
平成26年 1月 600A組立冶具
平成26年 2月 リアクター薬液供給ユニツト⑤
平成26年 5月 DSP装置移設改造(102洗)
平成26年 6月 600A自動溶着機 2台
平成26年 6月 740A自動溶着機 2台
平成26年 7月 TMAH・H2O2供給・廃液ユニット
平成26年 8月 フラッタ後スクラブ洗浄機
平成26年 9月 BC棟装置移設改造(新規製作含む)
平成26年 9月 ボート洗浄機改造
平成26年 9月 600A表皮送り装置
平成26年 11月 白玉団子移載機
平成26年 11月 マイクロスクリーンユニット
平成26年 12月 スラリー供給装置
平成27年 3月 HF洗浄ドラフト
平成27年 4月 ダイシングカセット洗浄機
平成27年 4月 混酸ウェット洗浄機
平成27年 6月 600A自動溶着機 2台
平成27年 6月 740A検査機 2台
平成27年 6月 8092台車 2台
平成27年 6月 スラリー供給装置
平成27年 6月 ウェハ揺動装置 6台
平成27年 6月 スラリーデータ収集制御盤
平成27年  8月 一輪車駆動部製作
平成27年 10月 洗浄設備改造
平成27年 11月 8092マスク搬送台車
平成27年 11月 8″WREM
平成27年 11月 リンスドラフト
平成27年 11月 KPL-12工程変更改造
平成27年 12月 揺動ユニット付洗浄槽 2台
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